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53*1.5卫生级不锈钢管利用纯氩气退火加热并快速冷却钢管亮面

气体在微电子、半导体行业中应用气体的使用在半导体制程中一直扮演着重要的角色，特别是半导体制程目前已被广泛的应用于各项产业，凡举传统的ULSI、TFT-LCD到现在的微机电(MEMS)产业，皆以所谓的半导体制程为产品的制造流程。

其中的制程包括如干蚀刻、氧化、离子布植、薄膜沉积等皆使用到相当多的气体，而气体的纯度则对组件性能、产品良率有着决定性的影响，气体供应的安全性则关乎人员的健康与工厂运作的安全。

腐蚀性能较强的气体时，必须选用耐腐蚀的不锈钢管材作配管，否则，管材将会由于腐蚀而在内表面产生腐蚀斑，严重时会出现大片金属剥离甚至穿孔，从而污染输配的纯净气体。大流量的高纯、高洁净度气体输配管道的连接，原则上全部采用焊接，要求采用的管材，在施焊时组织不发生变化。

含碳过高的材料在焊接时，受焊接部位的透气，使得管内外气体的相互渗透，破坏输送气体的纯度、干燥度和洁净度，导致我们的各项努力全部失去意义。综上所述，对于高纯气体及特种气体输送管道，必需采用一种特种处理的高纯不锈钢管，至使高纯管道系统（包含管道、管件、阀门、VMB、VMP）在高纯气体配送中占有至关重要的使命。 

不锈钢管等级分类：AP、MP、BA、EP  AP

AP：即酸洗处理（ Acid Pickling ） ，利用硝酸与亚氟酸等酸性溶液来除去钢管的氧化层。便宜快速，但容易造成晶界腐蚀

且内外表面较粗糙，易有悬浮杂质附着。

MP: 即机械抛光（ Mechanical polishing ），常用于钢管表面的氧化层、孔洞与刮痕，其亮度与效果则取决于加工方式的种类。

另外机械抛光后，虽较美观但也会降低抗蚀性，所以当用在腐蚀环境下，需再经过钝化处理。而且，钢管表面常有抛光材料残留

BA：即光辉退火（Bright Annealing)，钢管在抽制的过程中，一定会需油脂润滑，而晶粒也会因加工而变形。为了避免这个油脂残留在钢管中,除了要清洗钢管外,尚可利用高温在高温退火以消除变形时,以氩气充当炉内气氛,借由氩与钢管表面的碳氧结合燃烧

进一步清洁钢管的表面，产生亮面的效果，故这种利用纯氩气退火加热并快速冷却，以亮化光面的方式叫光辉退火，虽然利用此种方式来亮化表面，可保钢管充分干净，无任何外来污染。但这种表面的明亮度，若与其他抛光方式相较（机械、化学、电解）会有交雾面的感觉。当然，其效果也与氩气的含量与加热的次数有关。

EP：即电解抛光（Electro Polishing)，电解抛光是利用阳极处理的方式，借由电化学的原理，适当地调整电压、电流、酸液组成、以及抛光时间，不但可使表面达到明亮、顺滑、洁净的效果，更可提升表面的抗蚀性，故是的亮化表面方法，当然其成本与技术也提高。

不过，因为电解抛光会凸显钢管表面的原始状态，所以若钢管表面有严重刮伤、孔洞，或是夹渣、析出物等，皆可能造成电解失败。其与化学抛光不同之住是，虽然也是在酸性环境中进行，但钢管表面不但不会有任何晶界腐蚀现象，尚可经由控制表面的氧化铬膜层厚度，使钢管达到的抗蚀性。